INFICON 高壓熱電離皮拉尼HPG400型真空計 將高壓熱電離技術與皮拉尼傳感器整合在一個單個緊湊經濟的裝置中,可測量 2×10-6 毫巴至大氣壓(1.5×10-6 托至大氣壓)范圍內的壓力。 HPG400 型真空計為準確的濺射過程壓力控制提供重復測量并再現測量數據。 英??蹈邏簭姛犭婋x皮拉尼真空計
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