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PSG500 Pirani標準真空計 ,PSG500-S,PSG502-S可選 PSG500,P/N:350-060a PSG500-S,P/N:350-080 PSG502-S,P/N:350-140 英富康皮拉尼真空計簡單介紹 INFICON的 Pirani 標準真空計 PSG500 和 PSG502-S 代表封裝在堅固耐用小型管殼內的先進的Pirani技術。溫度補償保障了快速與穩定的真空測量結果,并消除了對大氣壓強反應慢的問題. 堅固耐用的不銹鋼傳感單元更適用于半導體系統, 以及常規用途如前級真空管道中。 英富康皮拉尼真空計特點: ■ 占空間小 ■ 任何方位安裝 ■ 不銹鋼測量單元的金屬密封饋入件 ■ 上佳化的溫度補償 ■ 易于集成的對數訊號輸出 ■ 至10巴絕對壓力的高過壓能力,用螺紋連接件 ■ 烘烤型在法蘭處可達到250°C ■ 易于更換的傳感單元 應用: ■ 控制高真空電離真空計 ■ 前級真空壓強監測 ■ 真空系統中的安全電路 ■ 在中真空和粗真空范圍內的一般真空測量與控制 |
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